Katodu Taji ɔ: Kan Elɛktrɔn Tɔn lɛ Ðò Tuto Ion lɛ Tɔn lɛ Mɛ kpo Akwɛ́ E Ðò Nǔnina Stable lɛ Mɛ É kpo
Ðò gbɛ̀ e mɛ è nɔ bló nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu lɛ é ɖè é ɔ, fí e nǔjɔnǔ atomiki-nivo tɔn nɔ zɔ́n bɔ nǔ kpɛví kpɛví lɛ bǐ nɔ w’azɔ̌ ɖè é ɔ, ion ɖiɖó dó mɛ wu nɔte ɖi nǔ taji ɖé. É wɛ nyí wlɛnwín taji e è nɔ zán dó jló na sɔ́ atomu dopant lɛ dó fɛ́n silicium tɔn mɛ bo na dó ɖyɔ nǔwukpikpé tɔn lɛ é, bo na dó bló fɛ́n P-N taji e nɔ nyí fɛ́n transistor lɛ tɔn é. Hwenu e ion-weziza ɔ ɖesu nɔ dɔn ayi mɛtɔn wá é ɔ, jijimɛ tɔn ɖesu nɔ jinjɔn nǔ e bɔkun bo nɔ flú mɛ é ɖé jí, amɔ̌, é ɖò taji tawun: é wɛ nyí weziza élɛktrɔn tɔn sín fɛ́n ɔ. É nɔ nyí thermionic emitter enɛ bo nɔ nyí akpáxwé weziza lɛ̌ɛnkanvɔ tɔn nukɔntɔn ɔ ɖò nǔ e ɖò vɔvɔ lɛ̌ɛnkanvɔ tɔn e ɖò ion sín jɔtɛn ɔ mɛ lɛ é mɛ, bo nɔ wà nǔ ɖi ayi e nɔ xò nǔ kpɔ́n bo nɔ lɛ́ ɖó hlɔnhlɔn é ɖé ɖò ion ɖiɖó dó lanmɛ sín tuto ɔ bǐ mɛ.
Xota elɔ gbéjé azɔ̌ tawun tawun lɛ, tagba e ɖò azɔ̌wiwa mɛ lɛ é, kpo nǔnywɛ xwitixwiti sín nǔ e ɖò jijɛji wɛ lɛ é kpo kpɔ́n, bo ba dò nú nǔ e wu nǔ enɛ ɖò taji bo na dó sixu ɖó mimɛ̌jininɔ, syɛnsyɛn, kpo nǔ e è nɔ wà ɖò égbé lɛ é kpo é. Gɔ́ na ɔ, é tɛɖɛ̌ lee é ɖò taji sɔ ɖɔ è ni ɖó nǔ e è sixu ɖeji dó wutu tɔn lɛ é nú nǔ e è nɔ zán lɛ é enɛ lɛ e nɔ hɛn nǔ gblé tawun lɛ é, fí e azɔ̌xwé lɛ yí wǎn nú .Zhuzhou Axɔsuɖuto ɔ sín azɔ̌xwé kpo ajɔ̌wiwa kpo sín azɔ̌xwé.nɔ wà azɔ̌ taji ɖé ɖò nǔ e è nɔ bló ɖò gbɛ̀ ɔ bǐ mɛ lɛ é sín azɔ̌wiwa mɛ.
I. Nǔ e jɛ ɖò Ion Implantation mɛ é: Nǔ e è byɔ ɖò mɛ mímɛ́, nǔjɔnǔ, kpo nǔ e è sixu ɖɔ ɖ’ayǐ é kpo mɛ é
Ion ɖiɖó dó mɛ mɛé nɔ byɔ ɖɔ è ni bló bɔ atomu e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu lɛ é (ɖi Boron, Phosphore, alǒ Arsenic) na cí ion ɖɔhun, bo na bló bɔ ye na yawu ɖó hlɔnhlɔn ɖaxó, lobo na xlɛ́ ali ye dó nǔ e jí è sɔ́ silicium dó bló é ɖé jí. Nǔwiwa ɔ nɔ jɛ ɖò fí e è ma nɔ mɔ nǔ ɖebǔ ɖè ǎ é ɖé mɛ, bo na dó glɔ́n ali nú weziza lɛ sín gbakpé kpo wafer lɛ sín nǔ kwijikwiji lɛ kpo. Tomɛyiyi ion ɖé tɔn nɔ bɛ́ ɖò fí e ion lɛ gosin é, kplékplé syɛnsyɛn ɖé wɛ bo nɔ nyí .nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu lɛ éè bló bɔ é na bló plasma ɖé sín gaz e è nɔ zán dó ɖu nǔ é ɖé mɛ, bo na ɖè tɔ́n, lobo na lɛ́ sɔ́ ayi ɖó jí ɖò bǐbɛ̌mɛ.
Tagba taji e ɖò ion sín jɔtɛn ɔ mɛ é ɖó akpá wè: nukɔntɔn ɔ, è na bló plasma ɖaxó ɖé, bo na nɔte, bɔ ion dopant alɔkpa e è ba é sín akpáxwé ɖaxó ɖé na ɖò mɛ, bo na lɛ́ ɖè nǔ kwijikwiji lɛ kpò; bɔ wegɔ ɔ, bo na dó sixu vɔ́ nǔwiwa enɛ bló bo lɛ́ ɖeji dó wǔ tɔn ɖò ganxixo afatɔ́n mɔkpan e è na zán lɛ é mɛ, bɔ hwenu e è ma ko bló tuto na ǎ é na hwe d’eji. Enɛ nɔ hɛn .élɛktrɔn weziza sín kàn-akpáxwé e è nɔ zán é ɖé bo ɖó gbɛzán ɖé -ɖò ayi mɛ nú mɛ tawun ɖi nǔ taji ɖé ɖò tuto nǔɖiɖó tɔn kpo akwɛ e è nɔ sú dó xɔ nǔ ɔ é kpo mɛ.
II. Élɛktrɔn sín weziza sín kàn ɔ: Azɔ̌ tɔn kpo lee é nɔ w’azɔ̌ gbɔn é kpo wɛ nyí jɔtɛn weziza lɛtɛki tɔn nukɔntɔn ɔ
Ðò xɔ e mɛ ion lɛ nɔ gosin é mɛ ɔ, è bló kàn ɔ ɖó pɛ́pɛ́pɛ́pɛ́pɛ́ .weziza lεtliki tɔn sin akpáxwée nɔ ɖè akpɔ́kpɔ́ e mɛ élɛktrɔn lɛ ɖè é tɔ́n é. É ɖò mɔ̌ có, è nɔ sɔ́ gan syɛnsyɛn e ma nɔ fyɔ́ ǎ lɛ é dó bló na, ɖi tungstène alǒ tantalum, ɖó fí e ye nɔ xú ɖè é kpo nǔwukpikpé e ye nɔ ɖè élɛktrɔn lɛ tɔ́n é kpo wutu, bɔ è nɔ hɛn fɛ́n ɔ xú kaka bɔ jɔhɔn nɔ syɛn tawun (hwɛhwɛ ɔ, é nɔ hugǎn 2200 degrés ).
Enyi è na ɛ hlɔnhlɔn ɔ, é nɔ ɖè élɛktrɔn nukɔntɔn lɛ sín sin ɖaxó ɖé tɔ́n. Élɛktrɔn enɛ lɛ nɔ yawu gbɔn hlɔnhlɔn hlɔnhlɔnnɔ ɖé gblamɛ, bo nɔ bló nǔ e è nɔ hɛn .weziza élɛktrɔn tɔn. Ðò ion sín jɔtɛn ɔ mɛ ɔ, weziza enɛ nɔ wà azɔ̌ taji wè:
1.Gas Ionization: Élɛktrɔn e ɖó hlɔnhlɔn ɖaxó- lɛ é nɔ xò nǔ dó gaz dopant neutre lɛ wu, bo nɔ ɖè élɛktrɔn lɛ sín mɛ bo nɔ bló ions ɖagbe e ɖò dandan nú weziza ɔ lɛ é.
2. Nǔɖuɖu kpo Nǔ E Nɔ Kpé Nukún Dó Plasma Wu É kpo: Élɛktrɔn e ɖò sisa wɛ magbokɔ lɛ é nɔ lɛ́vɔ gɔ́ hlɔnhlɔn nú plasma ɔ. Courant e nɔ tɔ́n sín filament ɔ mɛ é wɛ nɔ kpé nukún dó plasma ɔ sín hlɔnhlɔn wu tlɔlɔ, bɔ é wɛ nɔ ɖɔ courant ion beam e ɖò te é bo na dó sixu sɔ́ dó lanmɛ nú mɛ.
III. Nǔ e jɛ ɖò azɔ̌wiwa linu lɛ é, nǔ e è nɔ zán lɛ é, kpo hudo e è ɖó bo na nɔ hɛn nǔ lɛ ɖó te é kpo
Filament ɔ, nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé é ɖé wɛ. Nǔ e é nɔ bló bɔ é nɔ xú kpɛɖé kpɛɖé é kpo nǔ e sixu hɛn nǔ kwiji wá ɖò plasma mɛ lɛ é kpo nɔ zɔ́n bɔ è nɔ bló tuto nú nǔ e è na ɖyɔ é. Nǔgbo enɛ ɔ nɔ zɔ́n bɔ ninɔmɛ azɔ̌wiwa tɔn lɛ nɔ ganjɛ nǔ e è sixu ɖɔ ɖ’ayǐ é ɖé wu tawun:
Ga -Azɔwanu din tɔn:Nǔwiwa ɖěɖee nɔ byɔ ɖɔ è ni zán dose gègě lɛ é nɔ dɔn filament lɛ yì dogbó yetɔn lɛ jí, bo nɔ byɔ ɖɔ è ni ɖè jɔhɔn ɖaxó ɖé tɔ́n, bo nɔ lɛ́ zɔ́n bɔ ye nɔ yawu gblé. Fabs e nɔ bló tuto mɔhun lɛ é nɔ byɔ ɖɔ è ni nɔ ɖyɔ nǔ ɖagbeɖagbe lɛ ɖò hwetɔnnu, bo na dó hɛn nǔ e è nɔ wà lɛ é ɖó te.
Hlɔnhlɔn kpɛɖe-Ɖɔhun Ɖo Ɖɔhun mɛ:Nǔ taji hugǎn wɛ nyí ɖɔ è ni nɔte. Nǔ e nɔ tɔ́n sín filament mɛ lɛ é sín vogbingbɔn sixu zɔ́n bɔ plasma na nɔ ɖyɔɖyɔ, bo na wà nǔ dó lee weziza lɛ nɔ cí é wu. É ɖò taji ɖɔ è ni zán filament e ɖó nǔ e è nɔ zán lɛ é kpo jɔmɛhun e sɔgbe é kpo sín kplékplé ɖokpo jí jɛ ɖevo jí nú nǔwiwa lɛ jijlaɖó.
Hwenu e è ma ko bló tuto na ǎ é ɖiɖekpo:Filament e è bló cobɔ è ɖó na ɖyɔ é ɖé nɔ ɖó nǔ e è sɔ́ dó lanmɛ nú mɛ é te. Hwenu e è na zán dó ɖè jɔhɔn sín fí e jɔhɔn ɔ ɖè é, ɖyɔ kàn ɔ, bló bɔ é na jɛ dò, lobo lɛ́ vɔ́ azɔwanú ɔ blóɖó é nɔ ɖu akwɛ tawun. Enɛ wu ɔ, fabs nɔ ganjɛ nǔsatɔ́ ɖěɖee sixu na jiɖe ɖɔ nǔ e è sɛ́dó mɛ é ɖokpo géé kún na nyɔ́ ó, loɔ, ye na lɛ́ na nǔ e è sixu ɖeji dó wutu tɔn lɛ é nú táan gegě, bo na lɛ́ nɔte é wu. Enɛ nɔ ɖè awě e è sixu xò mɛ ɖó nǔ e è nɔ bló lɛ é wu é kpò, ɖó akpáxwé lɛ ma sukpɔ́ ǎ wutu.
IV. Azɔ̌ e mɛ e nɔ na nǔ mɛ lɛ é nɔ wà é: Zhuzhou Kingdon Industriel & Commercial Co., Ltd.
Ðò ninɔmɛ e mɛ è nɔ sɔ́ akwɛ́ ɖaxó - ɖè é ɔ, è sixu jlɛ́ akwɛ́ e è ɖó nú nǔsáwǔxwlémɛtɔ́ e jí è sixu ɖeji dó é, ee tuùn azɔ̌ ganji é ɖé é zɛ xwé wu ǎ. Azɔ̌xwé ɖé lɛ ɖi Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd. Azɔ̌ yetɔn zɛ nǔɖiɖó klewun klewun lɛ wu:
Nǔjlɛdonǔwu kpo Nǔ lɛ sín Mimɛ̌jininɔ kpo e nɔ sɔgbe é:Ye nɔ na fɛ́n e è bló ɖó sɛ́n syɛnsyɛn lɛ jí é, bo nɔ bló bɔ è nɔ yí gbè nú nǔ e è nɔ ylɔ ɖɔ géométrique é, nǔ e è nɔ zán lɛ é (kpɔ́ndéwú ɔ, nǔ e è sɔ́ tungstène alǒ tantalum dó bló na é ɖé lɛ), kpo nǔ e è nɔ ɖè tɔ́n lɛ é kpo. Nǔ enɛ e nɔ sɔgbe é ɖò taji nú nǔwiwa lɛ vɔ́vɔ́.
Nǔwukpikpé Nǔɖiɖó Tɔn kpo Nǔ E È Na Na Mɛ É Kpo:Nú fabs semiconducteurs lɛ ɔ, linlin e è sixu ɖó ɖ’ayǐ é ɖé ɖò taji lee akpáxwé lɛ sín ɖagbe nyí gbɔn é. Nǔsatɔ́ e jí è sixu ɖeji dó é ɖé nɔ hɛn nǔwukpikpé nǔɖiɖó tɔn kpo nǔ e è na zán lɛ é kpo ɖó te bo na dó kpé nǔ e è bló tuto na lɛ é kpo nǔ e è sixu byɔ ɖò ajijimɛ lɛ é kpo wu, bo na dó sixu bló tuto nǔ lɛ jijlaɖó tɔn yetɔn lɛ tlolo.
Alɔdómɛ Nǔnywɛ Xwitixwiti Tɔn kpo Azɔ̌wiwa Kplékplé kpo:É ɖò mɔ̌ có, mɛ e nɔ na nǔ mɛ lɛ é ɖi Kingdon sixu w’azɔ̌ xá mɛ e nɔ bló nǔ lɛ é kpo mɛ e nɔ zán ye lɛ é kpo bo na dó bló bɔ è na bló nǔ e è nɔ ylɔ ɖɔ filament é ɖó nú azɔ̌ tawun tawun ɖé lɛ, bo na dó sixu bló bɔ gbɛzán mɛtɔn na ɖi ga alǒ bló bɔ è na hɛn nǔ lɛ ɖó te.
Intégration dans les Composants de Vacuum Électrique:Ði xóta ɖé ɖɔhun .weziza lεtliki tɔn sin akpáxwé, filament ɔ ɖó na cá kàn xá ɖevo lɛ ganji .nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu lɛ é-xɔ e mɛ è nɔ mɔ jɔtɛn ɖè é, nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu lɛ é, kpodo èlɛktrɔdu lɛ kpo. Nǔsatɔ́ azɔ̌tuùntɔ́ ɖé nɔ hɛn dó ayi mɛ ɖɔ nǔ e emi nɔ sà lɛ é nɔ sɔgbe xá nǔ e è byɔ ɖò macinu kpo hlɔnhlɔn kpo linu lɛ é pɛ́pɛ́pɛ́pɛ́, bo na dó sixu bló bɔ nǔ lɛ na nɔ bǔ ganji, lobo na lɛ́ w’azɔ̌ ganji.
V. Tagba lɛ kpodo sɔgudo kpo .
Sɔgudo ion ɖiɖó dó mɛ mɛ tɔn na lɛ́ byɔ nǔ gègě ɖò filaments lɛ kpo nǔ e ye nɔ hɛn wá lɛ é kpo gɔ́n:
Nǔ e Node Nukɔntɔn lɛ Byɔ É:Ée nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu lɛ é nɔ ɖiɖekpo kaka jɛ 3nm kpo dò kpo jí é ɔ, suúluɖiɖó nú nǔ kwijikwiji lɛ kpo nǔ e nɔ ɖyɔ nǔ lɛ é kpo nɔ sɛkpɔ zéro. È ɖo na bló kàn lɛ ɖò ayikungban e mɛ́ tawun lɛ é mɛ, bɔ è ɖó na nɔ mɛ́ hwɛhwɛ.
Intégration de la maintenance prédictive:È sixu zán nǔ e kúnkplá azɔ̌wiwa filament tɔn lɛ é (voltage, tendance actuelle) dó gbéjé nǔ lɛ kpɔ́n ɖò nǔɖɔɖ’ayǐ mɛ. Nǔwiwa ɖó kpɔ́ ɖò mɛ e nɔ bló nǔzinzan lɛ é, mɛ e nɔ bló nǔ lɛ é kpo mɛ e nɔ na nǔ lɛ é kpo tɛntin sixu bló bɔ nǔ enɛ lɛ na nyɔ́ hugǎn, bo na bló bɔ nǔ e è bló tuto na ɖyɔ lɛ é na huzu nǔ e è na bló bɔ ye na nyɔ́ hugǎn ɖò hwetɔnnu é.
Nǔ e è nɔ na mɛ lɛ é sín hlɔnhlɔn:Nǔ e jɛ ɖò gbɛ̀ ɔ bǐ mɛ ɖò azǎn yɔywɛ ɖé ɖíe lɛ é xlɛ́ ɖɔ nǔ taji e ɖò taji hugǎn é wɛ nyí ɖɔ è ni ɖó nǔ e nɔ hɛn nǔ taji lɛ wá lɛ é ɖé. Nǔsatɔ́ e ɖò te, bo ɖó nǔwukpikpé nǔnywɛ xwitixwiti tɔn lɛ é ɖò xá taji lɛ mɛ nɔ na azɔ̌xwé ɔ nǔ taji e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu é kpo nǔwukpikpé e é ɖó bo na ɖyɔ nǔ lɛ é kpo.
VI. Nukúnnúmɔjɛnǔmɛ: Akpáxwé Taji ɖé, Alɔdidó Taji ɖé
Ðò vivɔnu ɔ, fɛ́n e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu é hugǎn nǔ e è nɔ zán é ɖé tawun. É nyí nǔjɔnǔ ɖé .weziza lεtliki tɔn sin akpáxwébɔ azɔ̌wiwa tɔn e jí è sixu ɖeji dó é ɖò taji nú .ion ɖiɖó dó mɛ mɛhwɛɖíɖó. Azɔ̌wiwa tɔn kpo gbɛzán tɔn e è sixu ɖɔ ɖ’ayǐ é kpo nɔ wà nǔ dó hwenu e è nɔ w’azɔ̌ na é, nǔ e é nɔ tɔ́n é kpo nǔ e è nɔ na mɛ é kpo wu tlɔlɔ.
Énɛ́ ɔ́ wú ɔ́, è ɖó ná bló bɔ è ná ɖó hlɔnhlɔn ɖaxó ɖé, é nyí nǔ taji ɖé nú mɛ e nɔ bló nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu é. Nǔnamɛtɔ́ lɛ yí wǎn nú .
Zhuzhou Axɔsuɖuto ɔ sín azɔ̌xwé kpo ajɔ̌wiwa kpo sín azɔ̌xwé.na linsyɛnsyɛn taji enɛ. É ɖò mɔ̌ có, mɛ e nɔ bló nǔ e è nɔ zán lɛ é kpo mɛ e nɔ bló nǔ lɛ é kpo nɔ sɔ́ ayi ɖó dogbó nǔnywɛ xwitixwiti tɔn lɛ jí, bo nɔ ɖeji ɖɔ “ayixa” taji e ɖò jɔtɛn ion yetɔn lɛ tɔn mɛ é na kpó ɖò xixo wɛ syɛnsyɛn. Ðò weɖuɖu e gɔ́ngɔ́n é e è nɔ bló ɖò nǔ e nɔ hɛn nǔ cí mɔ̌to ɖɔhun lɛ é mɛ é mɛ ɔ, alɔdidó mɛ ɖevo lɛ e jí è sixu ɖeji dó é mɔhun lɛ nɔ bɔkun kpowun ǎ; ye nyí nǔ taji nú nukɔnyiyi.
